سپٹرنگ کوٹنگ ٹیکنالوجی کے فوائد اور نقصانات

حال ہی میں، بہت سے صارفین نے اسپٹرنگ کوٹنگ ٹیکنالوجی کے فوائد اور نقصانات کے بارے میں دریافت کیا ہے، ہمارے صارفین کی ضروریات کے مطابق، اب RSM ٹیکنالوجی ڈیپارٹمنٹ کے ماہرین مسائل حل کرنے کی امید میں ہمارے ساتھ اشتراک کریں گے۔غالباً درج ذیل نکات ہیں:

　　1، غیر متوازن میگنیٹران سپٹرنگ

یہ فرض کرتے ہوئے کہ میگنیٹران سپٹرنگ کیتھوڈ کے اندرونی اور بیرونی مقناطیسی قطب کے سروں سے گزرنے والا مقناطیسی بہاؤ برابر نہیں ہے، یہ ایک غیر متوازن میگنیٹران سپٹرنگ کیتھوڈ ہے۔عام میگنیٹران سپٹرنگ کیتھوڈ کا مقناطیسی میدان ہدف کی سطح کے قریب مرتکز ہوتا ہے، جبکہ غیر متوازن میگنیٹران سپٹرنگ کیتھوڈ کا مقناطیسی میدان ہدف سے باہر نکلتا ہے۔عام میگنیٹرون کیتھوڈ کا مقناطیسی میدان ہدف کی سطح کے قریب پلازما کو سختی سے روکتا ہے، جبکہ سبسٹریٹ کے قریب پلازما بہت کمزور ہے، اور سبسٹریٹ پر مضبوط آئنوں اور الیکٹرانوں کی بمباری نہیں ہوگی۔غیر متوازن میگنیٹرون کیتھوڈ مقناطیسی میدان پلازما کو ہدف کی سطح سے بہت دور تک پھیلا سکتا ہے اور سبسٹریٹ کو غرق کر سکتا ہے۔

　　2، ریڈیو فریکوئنسی (RF) پھٹنا

موصل فلم جمع کرنے کا اصول: موصلیت کے ہدف کے پچھلے حصے پر رکھے ہوئے کنڈکٹر پر منفی صلاحیت کا اطلاق ہوتا ہے۔گلو ڈسچارج پلازما میں، جب مثبت آئن گائیڈ پلیٹ تیز ہوتی ہے، تو یہ اس کے سامنے موجود انسولیٹنگ ہدف کو تھپکنے کے لیے بمباری کرتی ہے۔یہ پھٹنا صرف 10-7 سیکنڈ تک جاری رہ سکتا ہے۔اس کے بعد، موصلیت کے ہدف پر جمع ہونے والے مثبت چارج سے پیدا ہونے والا مثبت پوٹینشل کنڈکٹر پلیٹ پر منفی پوٹینشل کو پورا کرتا ہے، اس لیے انسولیٹنگ ہدف پر زیادہ توانائی والے مثبت آئنوں کی بمباری روک دی جاتی ہے۔اس وقت، اگر پاور سپلائی کی قطبیت کو الٹ دیا جاتا ہے، تو الیکٹران انسولیٹنگ پلیٹ پر بمباری کریں گے اور 10-9 سیکنڈ کے اندر اندر موصل پلیٹ پر مثبت چارج کو بے اثر کر دیں گے، جس سے اس کا امکان صفر ہو جائے گا۔اس وقت، پاور سپلائی کی قطبیت کو تبدیل کرنے سے 10-7 سیکنڈ تک پھوٹ پڑ سکتی ہے۔

آر ایف سپٹرنگ کے فوائد: دھاتی اہداف اور ڈائی الیکٹرک اہداف دونوں کو پھٹا جا سکتا ہے۔

　　3، ڈی سی میگنیٹران سپٹرنگ

میگنیٹران سپٹرنگ کوٹنگ کا سامان ڈی سی سپٹرنگ کیتھوڈ ٹارگٹ میں مقناطیسی فیلڈ کو بڑھاتا ہے، برقی میدان میں الیکٹرانوں کی رفتار کو باندھنے اور بڑھانے کے لیے مقناطیسی فیلڈ کی لورینٹز فورس کا استعمال کرتا ہے، الیکٹرانوں اور گیس کے ایٹموں کے درمیان ٹکراؤ کے امکانات کو بڑھاتا ہے، گیس کے ایٹموں کی آئنائزیشن کی شرح، ہدف پر بمباری کرنے والے ہائی انرجی آئنوں کی تعداد کو بڑھاتی ہے اور چڑھائی ہوئی سبسٹریٹ پر بمباری کرنے والے ہائی انرجی الیکٹرانوں کی تعداد کو کم کرتی ہے۔

پلانر میگنیٹران سپٹرنگ کے فوائد:

1. ہدف کی طاقت کی کثافت 12w/cm2 تک پہنچ سکتی ہے۔

2. ہدف وولٹیج 600V تک پہنچ سکتا ہے؛

3. گیس کا پریشر 0.5pa تک پہنچ سکتا ہے۔

پلانر میگنیٹران سپٹرنگ کے نقصانات: ہدف رن وے کے علاقے میں ایک پھٹنے والا چینل بناتا ہے، پوری ہدف کی سطح کی اینچنگ ناہموار ہے، اور ہدف کے استعمال کی شرح صرف 20% - 30% ہے۔

　　4، انٹرمیڈیٹ فریکوئنسی AC میگنیٹران سپٹرنگ

اس سے مراد میڈیم فریکوئنسی AC میگنیٹران سپٹرنگ آلات میں، عام طور پر ایک ہی سائز اور شکل والے دو اہداف ساتھ ساتھ ترتیب دیئے جاتے ہیں، جنہیں اکثر جڑواں اہداف کہا جاتا ہے۔وہ معطل شدہ تنصیبات ہیں۔عام طور پر، ایک ہی وقت میں دو اہداف چلائے جاتے ہیں۔درمیانی فریکوئنسی AC میگنیٹران ری ایکٹو سپٹرنگ کے عمل میں، دو اہداف بدلے میں اینوڈ اور کیتھوڈ کے طور پر کام کرتے ہیں، اور وہ ایک ہی نصف چکر میں ایک دوسرے کو اینوڈ کیتھوڈ کے طور پر کام کرتے ہیں۔جب ہدف منفی نصف سائیکل پوٹینشل پر ہوتا ہے، تو ہدف کی سطح پر مثبت آئنوں سے بمباری ہوتی ہے اور پھٹ جاتی ہے۔مثبت نصف سائیکل میں، پلازما کے الیکٹران ہدف کی سطح کی موصل سطح پر جمع ہونے والے مثبت چارج کو بے اثر کرنے کے لیے ہدف کی سطح پر تیز ہو جاتے ہیں، جو نہ صرف ہدف کی سطح کی اگنیشن کو دباتا ہے، بلکہ اس کے رجحان کو بھی ختم کرتا ہے۔ انوڈ کی گمشدگی"۔

انٹرمیڈیٹ فریکوئنسی ڈبل ٹارگٹ ری ایکٹو سپٹرنگ کے فوائد یہ ہیں:

(1) اعلی جمع کی شرح.سلیکون کے اہداف کے لیے، درمیانے تعدد کے رد عمل والے سپٹرنگ کی جمع ہونے کی شرح DC ری ایکٹو سپٹرنگ سے 10 گنا ہے۔

(2) سپٹرنگ کے عمل کو سیٹ آپریٹنگ پوائنٹ پر مستحکم کیا جا سکتا ہے؛

(3) "اگنیشن" کا رجحان ختم ہو گیا ہے۔تیار شدہ موصلی فلم کی خرابی کی کثافت ڈی سی ری ایکٹیو سپٹرنگ طریقہ سے کم شدت کے کئی آرڈرز ہے۔

(4) اعلی سبسٹریٹ درجہ حرارت فلم کے معیار اور چپکنے کو بہتر بنانے کے لیے فائدہ مند ہے۔

(5) اگر پاور سپلائی آر ایف پاور سپلائی کے مقابلے میں ہدف سے مماثل ہونا آسان ہے۔

　　5، ری ایکٹو میگنیٹران سپٹرنگ

پھٹنے کے عمل میں، مرکب فلمیں بنانے کے لیے پھٹنے والے ذرات کے ساتھ رد عمل ظاہر کرنے کے لیے رد عمل کی گیس کھلائی جاتی ہے۔یہ ایک ہی وقت میں سپٹرنگ کمپاؤنڈ ٹارگٹ کے ساتھ رد عمل کا اظہار کرنے کے لیے ری ایکٹیو گیس فراہم کر سکتا ہے، اور یہ ایک ہی وقت میں ایک مخصوص کیمیائی تناسب کے ساتھ کمپاؤنڈ فلموں کو تیار کرنے کے لیے سپٹرنگ میٹل یا الائے ٹارگٹ کے ساتھ رد عمل ظاہر کرنے کے لیے ری ایکٹیو گیس بھی فراہم کر سکتا ہے۔

ری ایکٹو میگنیٹران سپٹرنگ کمپاؤنڈ فلموں کے فوائد:

(1) استعمال شدہ ہدف مواد اور رد عمل والی گیسیں آکسیجن، نائٹروجن، ہائیڈرو کاربن وغیرہ ہیں، جو عام طور پر اعلیٰ پاکیزگی والی مصنوعات حاصل کرنے میں آسان ہوتی ہیں، جو کہ اعلیٰ طہارت والی کمپاؤنڈ فلموں کی تیاری کے لیے سازگار ہوتی ہیں۔

(2) عمل کے پیرامیٹرز کو ایڈجسٹ کرکے، کیمیائی یا غیر کیمیائی مرکب فلمیں تیار کی جاسکتی ہیں، تاکہ فلموں کی خصوصیات کو ایڈجسٹ کیا جاسکے؛

(3) سبسٹریٹ کا درجہ حرارت زیادہ نہیں ہے، اور سبسٹریٹ پر کچھ پابندیاں ہیں۔

(4) یہ بڑے علاقے کی یکساں کوٹنگ کے لیے موزوں ہے اور صنعتی پیداوار کا احساس کرتا ہے۔

ری ایکٹیو میگنیٹران سپٹرنگ کے عمل میں، کمپاؤنڈ سپٹرنگ کا عدم استحکام واقع ہونا آسان ہے، جس میں بنیادی طور پر شامل ہیں:

(1) کمپاؤنڈ اہداف تیار کرنا مشکل ہے۔

(2) آرک سٹرائیکنگ (آرک ڈسچارج) کا رجحان ہدف کے زہر اور تھوکنے کے عمل کی عدم استحکام کی وجہ سے؛

(3) کم تھوک جمع کرنے کی شرح؛

(4) فلم کی خرابی کی کثافت زیادہ ہے۔