حالیہ برسوں میں، انٹیگریٹڈ سرکٹ (IC) ٹیکنالوجی کی ترقی کے ساتھ، مربوط سرکٹس کے متعلقہ ایپلی کیشنز کو تیزی سے تیار کیا گیا ہے۔الٹرا ہائی پیوریٹی ایلومینیم الائے سپٹرنگ ٹارگٹ، مربوط سرکٹ میٹل انٹر کنیکٹس کی تیاری میں معاون مواد کے طور پر، حالیہ گھریلو تحقیق میں ایک گرما گرم موضوع بن گیا ہے۔RSM کا ایڈیٹر ہمیں ہائی پیوریٹی ایلومینیم الائے سپٹرنگ ٹارگٹ کی خصوصیات دکھائے گا۔
میگنیٹران سپٹرنگ ٹارگٹ کی سپٹرنگ کی کارکردگی کو مزید بہتر بنانے اور جمع شدہ فلموں کے معیار کو یقینی بنانے کے لیے، تجربات کی ایک بڑی تعداد یہ ظاہر کرتی ہے کہ الٹرا ہائی پیوریٹی ایلومینیم الائے سپٹرنگ ٹارگٹ کی ساخت، مائیکرو اسٹرکچر اور اناج کی سمت بندی کے لیے کچھ تقاضے ہیں۔
ہدف کے اناج کے سائز اور اناج کی واقفیت کا آئی سی فلموں کی تیاری اور خصوصیات پر بہت اثر ہوتا ہے۔نتائج ظاہر کرتے ہیں کہ اناج کے سائز میں اضافے کے ساتھ جمع ہونے کی شرح کم ہوتی ہے۔ایک ہی مرکب کے ساتھ پھونکنے والے ہدف کے لیے، چھوٹے دانوں کے سائز والے ہدف کے پھٹنے کی شرح بڑے اناج کے سائز والے ہدف سے زیادہ تیز ہے۔ہدف کے اناج کا سائز جتنا زیادہ یکساں ہوگا، جمع شدہ فلموں کی موٹائی کی تقسیم اتنی ہی یکساں ہوگی۔
اسی سپٹرنگ انسٹرومینٹ اور پروسیس پیرامیٹرز کے تحت، ال کیو الائے ٹارگٹ کی سپٹرنگ ریٹ جوہری کثافت میں اضافہ کے ساتھ بڑھتا ہے، لیکن یہ ایک حد میں عام طور پر مستحکم ہوتا ہے۔اناج کے سائز کا اثر اناج کے سائز میں تبدیلی کے ساتھ جوہری کثافت میں تبدیلی کی وجہ سے ہوتا ہے۔جمع کرنے کی شرح بنیادی طور پر ال کیو الائے ہدف کے اناج کی واقفیت سے متاثر ہوتی ہے۔(200) کرسٹل طیاروں کے تناسب کو یقینی بنانے کی بنیاد پر، (111)، (220) اور (311) کرسٹل طیاروں کے تناسب میں اضافے سے جمع ہونے کی شرح میں اضافہ ہوگا۔
الٹرا ہائی پیوریٹی ایلومینیم الائے اہداف کے اناج کا سائز اور اناج کی واقفیت بنیادی طور پر انگوٹ ہوموجنائزیشن، ہاٹ ورکنگ اور ری کرسٹلائزیشن اینیلنگ کے ذریعے ایڈجسٹ اور کنٹرول کی جاتی ہے۔20.32cm (8in) اور 30.48cm (12in) تک ویفر سائز کی ترقی کے ساتھ، ہدف کا سائز بھی بڑھ رہا ہے، جو الٹرا ہائی پیوریٹی ایلومینیم الائے سپٹرنگ اہداف کے لیے اعلیٰ تقاضوں کو آگے بڑھاتا ہے۔فلم کے معیار اور پیداوار کو یقینی بنانے کے لیے، ہدف کے مائیکرو اسٹرکچر کو یکساں بنانے کے لیے ٹارگٹ پروسیسنگ کے پیرامیٹرز کو سختی سے کنٹرول کیا جانا چاہیے اور اناج کا رخ مضبوط (200) اور (220) ہوائی ساخت کا ہونا چاہیے۔
پوسٹ ٹائم: جون 30-2022